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z净?Clean Room)Q亦U无R间、无室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控Ӟ没有z净室,污染敏感零g不可能批量生产。在FED-STD-2里面Q洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房_其中特定的规则的操作E序以控制空气悬微_浓度,从而达到适当的微_洁净度别。洁净E度和控制污染的持箋E_性,是检验洁净室质量的核心标准Q该标准Ҏ区域环境、净化程度等因素Q分?/p>